2022/11/16

光罩






圖: Intel的光罩, 很像小時候的雷射貼紙.




光罩是什麼
  • 6" x 6" 的石英片; 1個14nm mask上有5Petabits, 約10x的imax movie資料量.
  • intel 14nm需要50個以上的光罩.
  • 製造一個光罩大約要5天, 最近光罩交貨時間拉長4-7倍
  • 製造光罩的設備也delay
  • 需求變大, 例如車用.
  • 製造光罩的設備也delay
  • 需求變大, 例如車用.
  • 一直以來擴產不多, 凸版印刷65nm, 一條新生產線Capex $65Mn, 與營收比過於巨大.
  • 分為自家自己用(captive, 較為高製程, 如Intel, TSMC, Samsung)與幫別人用(merchant, 製程可能較低)
  • 反正看到之前沒擴產的東西, 忽然要擴產, 包含好幾家廠商都一樣型態, 就是有點問題.
  • market tam $4-5BN.
  • intel有自己的in-house mask operation(IMO), Santa Clara與Oregon; IMO 1000+ mask per year.


EUV
  • 一台EUV去D1X Oregon, 3架747, 40個貨櫃, 20台貨櫃車才載得完
  • 十萬個零件, 200噸重
  • 需要三層樓, 原本一層16feet要調高到25feet因為EUV進來需要天車系統來組裝
  • 雷射很強, 一秒五萬次打錫球, 錫球變成電漿並發光








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